성악강사 단국대는 반도체 전문인력을 키우기 위한 ‘DKU 클린룸 센터’가 문을 열었다고 8일 밝혔다.DKU 클린룸 센터는 죽전캠퍼스 대학원동 6층에 연 면적 926㎡로 만들어졌다. 센터에는 클린룸, 분석계측실, 공정실습실1·2, 가스저장실, 장비분석실, 강의실 등이 있다. 설계부터 소자·공정, 테스트·후공정까지 한번에 교육할 수 있도록 한 시설이다.단국대는 센터에 반도체 소자의 전기적 특성 평가 및 분석 장비인 ‘프로브스테이션 및 반도체칩 특성 평가 장비’, 시료의 표면 특성을 나노 단위로 분석하는 ‘고해상도 주사형 원자력 현미경’, 고에너지 자외선을 사용해 회로 패턴을 웨이퍼(반도체의 기판) 표면에 형성하는 ‘6인치 웨이퍼 UV노광장비’ 등을 도입했다.이밖에 고온으로 재료를 증발시켜 기판에 박막을 증착하는 ‘진공열 증착기’, 웨이퍼를 짧은 시간 고온에 노출해 물리·화학적 변화를 유도하는 ‘급속 열처리 시스템’ 등도 구축했다.단국대는 센터에서 반도체 산업체 수요를 반영한 전...
10·29 이태원 참사 진상규명과 재발방지를 위한 특별조사위원회(특조위)가 소위원회 구성을 의결하는 등 본격적인 조사 활동을 위한 행정조직 설치와 운영규칙 제정에 나섰다.특조위는 8일 오전 서울 중구 특조위 사무실에서 3차 전원위원회를 열고 소위원회 구성 안건과 청문회 운영방안 등을 논의·의결했다.특조위는 진상규명조사소위원회(조사소위)와 안전사회정책소위원회(정책소위)를 구성해 운영하기로 확정했다. 위은진 상임위원이 조사소위 위원장을, 이상철 상임위원이 정책소위 위원장을 맡기로 했다.특조위 준비단은 ‘종합 보고서 작성 소위원회(종합보고서 소위)’도 설치·운영할 예정이었으나 위원들 간 논의 끝에 소위 설치 대신 ‘종합보고서 작성 기획단’을 꾸려 관련 업무를 하기로 했다. ‘10·29 이태원 참사 피해자 권리보장과 진상규명 및 재발방지를 위한 특별법’에 따라 특조위는 조사를 종료한 후 3개월 이내에 권고 사항을 정리한 종합보고서를 국회와 대통령에 보고해야 한다. 정문자 비상...

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